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MKS流量控制器

发布时间:2018-03-05 04:22:08  来源:网络
核心提示:浙江客户订购MKS流量控制器到货新一代MKS MFC(πMFC)压力不敏感质量流量控制器在功能和性能上都进行了改进,使得半导体和高纯薄膜用户能

浙江客户订购MKS流量控制器到货

新一代MKS MFC(πMFC)压力不敏感质量流量控制器在功能和性能上都进行了改进,使得半导体和高纯薄膜用户能进一步增加它们设备的产额。通过一个先进的数字算法,使得控制器对上游和下游的压力扰动不敏感,实现了精确的实时流量控制。与通常基于PID的数字MFC相比,它由于能实现工艺气体流量的实时控制而极大地提高了控制精度,具有更好的工艺腔室匹配性。

MKS流量控制器


常见型号: 

MKSπPC_PC90压力控制器

MKS 649A质量流量计控制器

MKS 641A压力控制器

MKS 640A压力控制器

MKS Tru-Flo质量流量计

MKS 1153A低气压源输送系统

MKS 1640A质量流量控制器

MKS VoDM蒸汽需求模块

MKS 1153A低蒸汽压源传送系统

MKS 1152C质量流量控制器

MKS 1150C质量流量控制器

MKS CB1480质量流量控制器数据线

MKS LCB147质量流量控制器数据线

MKS CB649压力传感器数据线

MKS 647C质量流量显示器

MKS 247D四通道质量流量控制器电源

MKS 246C单通道质量流量控制器电源

MKS 167A单通道显示

MKS M100B质量流量控制器

MKS M330H/M330AH质量流量控制器

MKS M330B质量流量控制器

MKS 1579质量流量控制器

MKS 579质量流量计

MKS PFC-80质量流量控制器

MKS PFC-60质量流量控制器

MKS PFC-50质量流量控制器

MKS PFC-20质量流量控制器

MC20质量流量控制器

MKS 180A质量流量计

MKS 1480A质量流量控制器

MKS M10MB质量流量计

MKS 2179A质量流量控制器

1559A质量流量控制器

MKS 1179A质量流量控制器

MKS 179A质量流量计

MKS 1479A质量流量控制器 

MKS流量控制器